加工事例

こちらの部品は､半導体組立装置用のローダー/アンローダーの加工事例です。

本部品は、駆動部に設置される土台部品となります｡

上下する駆動部に使用されるので、本部品においては、底面の溝における平面･平行度を高精度に加工を行うことが非常に重要になります｡

本部品では、底面の溝における平面・平行度は0.05が要求されておりました。そこで同時加工を行うことで、上記精度を維持しております。

また、切削加工を行った後、白アルマイトを外注にて施しております。

精密マシニング加工 量産センター.comを運営する三翔精工では、このような半導体製造装置用部品を多数製作してきました。 切削加工のみならず、各種表面処理にも対応しております。

精密マシニング加工の量産なら、お気軽にお問い合わせください。