加工事例

本事例は、半導体製造装置用のブラケットの加工事例になります。

材質はA5052で、マシニング加工による3軸加工に加え、黒アルマイト処理を施しております。

本製品の加工におけるポイントは、

・円筒形状部と底面部（3か所）の直角度0.05

・底面の裏の平面度0.03 の維持をしている点です。

円筒形状部と底面部（3か所）の直角度は、加工方法を工夫することにより、 材質の変形を抑え、精度の維持をしております。

また、底面の裏の平面度については、2度引きにより精度を維持しております。

底面裏部のみの加工の工程を加えることで、平面度（0.03）を実現しております。

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