加工事例
半導体製造装置用
搬送アーム
製品分類 | アーム | 業界 | 半導体製造装置 |
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加工精度 | 加工精度(±0.05) ・平面度/平行度(0.05) ・面粗度(6.3a) | サイズ | T23×248×170 |
生産数/ロット数 | 試作のみ | 材質 | A5052 |
加工内容 | ・3軸加工 ・アルマイト処理 |
当加工事例の特徴
こちらは、半導体製造装置の搬送アーム加工事例です。
材質は、耐食性・強度に 優れているA5052を使用しております。
加工精度±0.05・ 平面度/平行度0.05・面粗度6.3a等の加工精度で製作をしております。
特に基準面に対する、評価面の平行度が0.05と厳しいものになっており、 これを実現出来なければアームに製品が上手く乗らないといった製品不良も起きかねない製品でした。
しかし当社では3軸加工と反り取りによりお客様の要求通りの製作を実現しました。
当社ではA5052のこのような複雑加工にも対応可能ですので、 お気軽にお問合わせ下さい。
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