加工事例

半導体製造装置用
センサー部品

製品分類 業界 半導体製造装置
加工精度 加工精度(±0.03) ・平面度/平行度(0.03) ・面粗度(6.3a) サイズ T8×36×24
生産数/ロット数 50個/月 材質 A5052
加工内容 ・3軸加工 ・硬質アルマイト

当加工事例の特徴

こちらは半導体製造装置用センサー部品の加工事例です。

材質は、耐食性・強度に優れている A5052を使用しております。

加工精度±0.03・平面度/平行度0.03・面粗度6.3a等の 加工精度で製作をしております。

こちらの製品の加工における一番の難点は、穴の面取り加工によるバリの発生でした。

このバリを抑制する為に工夫をしております。

他にも、光の屈折を最小限に抑える為に、高いC面精度を求められていましたが、 切削量の調整を行う等して要求された精度を実現しております。

当社ではA5052の複雑加工にも対応可能ですので、お気軽にお問合わせください。

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