加工事例
半導体製造装置用
センサー部品
製品分類 | 業界 | 半導体製造装置 | |
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加工精度 | 加工精度(±0.03) ・平面度/平行度(0.03) ・面粗度(6.3a) | サイズ | T8×36×24 |
生産数/ロット数 | 50個/月 | 材質 | A5052 |
加工内容 | ・3軸加工 ・硬質アルマイト |
当加工事例の特徴
こちらは半導体製造装置用センサー部品の加工事例です。
材質は、耐食性・強度に優れている A5052を使用しております。
加工精度±0.03・平面度/平行度0.03・面粗度6.3a等の 加工精度で製作をしております。
こちらの製品の加工における一番の難点は、穴の面取り加工によるバリの発生でした。
このバリを抑制する為に工夫をしております。
他にも、光の屈折を最小限に抑える為に、高いC面精度を求められていましたが、 切削量の調整を行う等して要求された精度を実現しております。
当社ではA5052の複雑加工にも対応可能ですので、お気軽にお問合わせください。
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