加工事例
半導体製造装置用
アルミ製搬送部品
製品分類 | 搬送部品 | 業界 | 半導体製造装置 |
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加工精度 | 加工精度(±0.02) ・平面度/平行度(0.03)、直角度(0.03) ・面粗度(6.3a) | サイズ | T35×144×20 |
生産数/ロット数 | 50個/月 | 材質 | A5052 |
加工内容 | ・3軸加工 ・白アルマイト |
当加工事例の特徴
こちらは半導体製造装置における搬送部品の加工事例です。
材質は、耐食性・強度に優れているA5052を使用しております。
本製品の加工にあたり、加工精度±0.02・平面度/平行度0.03・ 直角度0.03等の加工精度が求められておりましたが、 3軸加工機を用いることにより、求められた精度を実現しております。
これにより、製品ポケット部分が斜めになってしまうことによる製品不良を抑制しております。
また、上面と9つの穴の底面の平行度に厳しい精度が求められておりましたが、製品をクランプした状態から掴みなおしをせずに加工を行うことで、厳しい精度を実現しております。
精密マシニング加工 量産センター.comを運営する三翔精工では、A5052のこのような複雑加工にも対応可能ですので、 お気軽にお問合わせください。
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