加工事例
半導体製造装置用
コバール製治具
製品分類 | 治工具 | 業界 | 半導体製造装置 |
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加工精度 | 加工精度(±0.02) ・平面度/平行度(0.03) ・面粗度(1.6a) | サイズ | T5×17×17 |
生産数/ロット数 | 500個/月 | 材質 | コバール |
加工内容 | ・3軸加工 ・ショットブラスト |
当加工事例の特徴
こちらは半導体製造装置における実装治具の加工事例です。
製品の素材として、コバールを使用しています。
コバールは電気特性(誘電率)がSUS430よりも優れています。
また、コバールはニッケル部品との密着強度に優れています。 これはコバールの中にはニッケルが多く含まれている為です。
しかし、コバールには発熱しやすいという難点があります。 この難点により、ニッケルは切削した際の発熱を抑制する為の、 加工条件の調整がステンレスと比較しても非常に難しいものとなっています。
その為、コバールは難削材の1つとされています。
本製品の加工にあたり、平面度と平行度を実現するために、 同時加工を行っております。その後、ブラスト処理を行い納品しました。
精密マシニング加工 量産センター.comを運営する三翔精工では、こちらの製品事例のように、コバールをはじめとする難削材の精密マシニング加工の量産を得意としております。難削材の精密マシニング加工の量産対応なら、お気軽にお問合わせください。
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