加工事例
半導体製造装置用
熱処理治具
| 製品分類 | 治工具 | 業界 | 半導体製造装置 |
|---|---|---|---|
| 加工精度 | 加工精度(±0.1) ・平面度/平行度(0.05) ・面粗度(1.6a) | サイズ | T62×58×46 |
| 生産数/ロット数 | 200個/月 | 材質 | SUS304 |
| 加工内容 | ・3軸加工 | ||
当加工事例の特徴
こちらは半導体製造装置用の熱処理治具の量産加工事例です｡
製品上のスリットに部品を設置し､リフロー炉へ投入する為の治具として使用されています｡
リフロー炉内での不具合を防ぐためにも平面度/平行度0.05を満たす必要があります。
材質には錆びや腐食に強く､耐熱性と強度に優れたSUS304を使用しております｡
本製品の加工にあたり､加工精度±0.1､面粗度1.6a といった精度も求められておりましたが､3軸加工機を使用する事により､ 要求通りの精度を実現しております｡
精密マシニング加工 量産センター.comを運営する三翔精工ではSUS304のみならず他の材質の加工や5軸加工を用いた複雑形状の精密加工の量産も可能ですので､お気軽にお問合わせ下さい｡
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