加工事例
半導体製造装置用
熱処理治具
製品分類 | 治工具 | 業界 | 半導体製造装置 |
---|---|---|---|
加工精度 | 加工精度(±0.1) ・平面度/平行度(0.05) ・面粗度(1.6a) | サイズ | T62×58×46 |
生産数/ロット数 | 200個/月 | 材質 | SUS304 |
加工内容 | ・3軸加工 |
当加工事例の特徴
こちらは半導体製造装置用の熱処理治具の量産加工事例です。
製品上のスリットに部品を設置し、リフロー炉へ投入する為の治具として使用されています。
リフロー炉内での不具合を防ぐためにも平面度/平行度0.05を満たす必要があります。
材質には錆びや腐食に強く、耐熱性と強度に優れたSUS304を使用しております。
本製品の加工にあたり、加工精度±0.1、面粗度1.6a といった精度も求められておりましたが、3軸加工機を使用する事により、 要求通りの精度を実現しております。
精密マシニング加工 量産センター.comを運営する三翔精工ではSUS304のみならず他の材質の加工や5軸加工を用いた複雑形状の精密加工の量産も可能ですので、お気軽にお問合わせ下さい。
関連事例

産業機器装置用ベース
業界 | 半導体製造装置 |
---|---|
材質 | C3604 |
ロット数 | 試作のみ |
サイズ | T8×7×26 |

通信機器用ベース
業界 | 通信機器 |
---|---|
材質 | C1020(無酸素銅) |
ロット数 | 試作のみ |
サイズ | φ6×2 |

産業機器装置用ホルダー
業界 | 半導体製造装置 |
---|---|
材質 | C3604 |
ロット数 | 試作のみ |
サイズ | T10×50×60 |

産業機器装置用SUS316製プレート
業界 | 産業機器 |
---|---|
材質 | SUS316 |
ロット数 | 試作のみ |
サイズ | T10×30×50 |

SUS430製工作機械用カバー
業界 | 工作機械 |
---|---|
材質 | SUS430 |
ロット数 | 試作のみ |
サイズ | T15×40×130 |

SCM435製半導体製造装置用ケース
業界 | 半導体製造装置 |
---|---|
材質 | SCM435 |
ロット数 | 試作のみ |
サイズ | T20×30×65 |

工作機械用位置決め治具
業界 | 工作機械 |
---|---|
材質 | A5052 |
ロット数 | 試作のみ |
サイズ | T8×200×200 |

産業機器用ケース
業界 | 半導体製造装置 |
---|---|
材質 | SUS303 |
ロット数 | 試作のみ |
サイズ | T30×50×100 |