加工事例

半導体製造装置用拡散板

製品分類 プレート 業界 半導体製造装置
加工精度 加工精度(±0.03) ・平面度/平行度(0.05)、真円度(0.03) ・シールド部面粗度(1.6a) サイズ □240
生産数/ロット数 試作のみ 材質 A5052
加工内容 ・3軸加工

当加工事例の特徴

本製品は、半導体素子へ拡散を行う為の試作用部品の加工事例です。

材質は、A5052で、マシニングセンタによる3軸加工を施して製作を行ないました。

こちらの製品の精度は以下のようになっております。

・加工精度(±0.03)

・平面度/平行度(0.05)、真円度(0.03)

・シールド部面粗度(1.6a)

マシニング加工のノウハウを活かして、加工条件を最適化させる事で、要求された精度での加工を実現しております。

加工後にはNEXIVにて精度保証も可能な品質保証体制がございます。

精密マシニング加工 量産センター.comを運営する三翔精工では、コバールをはじめとする難削材など様々な材質の精密マシニング加工の量産を得意としております。全数の外観検査など、品質保証体制も万全です。精密マシニング加工の量産なら当社までお問い合わせください。

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