加工事例
半導体製造装置用テーブル
| 製品分類 | テーブル | 業界 | 半導体製造装置 |
|---|---|---|---|
| 加工精度 | 加工精度(±0.03) ・平面度/平行度(0.05) ・同心度(0.05) ・面粗度(6.3a) | サイズ | T13×Φ217 |
| 生産数/ロット数 | 試作のみ | 材質 | A5052 |
| 加工内容 | ・3軸加工 ・白アルマイト処理 | ||
当加工事例の特徴
こちらの部品は、半導体製造装置用テーブルの加工事例です。
材質は、A5052で、マシニングセンタにて、3軸加工を施したのち、白アルマイト処理を施しております。
こちらの部品の加工におけるポイントは、 円形状での平面平行度（0.05）、同心度（0.05）を維持している点です。
本部品においては、外周と突起部を同時加工することで、上記精度を満足させております。
白アルマイト処理は外注にて行いました。
当社は、様々な協力工場との連携で、塗装、メッキなど各種表面処理にも対応しております。
お客様からは､全数形状を維持している上に､希望通りの製作ができている､とご満足の声を頂いております。
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